无锡芯享信息科技有限公司是中国领先的半导体智能制造CIM解决方案服务商,专注于提供晶圆制造、封装测试领域的智能自动化生产方案和服务,致力于成为半导体工厂的一体化生产合作伙伴。
芯享科技是国内少数拥有完全自主知识产权的半导体智能制造解决方案企业之一,拥有完善的晶圆制造和封装测试工厂生产所需的智能自动化软硬件产品,并具备成熟的现场实施能力。产品包括车间级智能工厂MES、EAP、RCM、RMS、SPC、FDC、StripMap等系统应用产品,以及各种eRack标品、研磨头智能立库、N2Purge、IoT等标品。客户包括SK海力士、华虹微电子、甬矽电子、长鑫存储、长江存储、卓胜微、华宇电子等知名半导体企业。
EAP系统是半导体CIM系统的核心部分,用于控制半导体设备进行自动化生产,与MES系统整合,校验产品信息,自动做账,同时收集产品生产过程中的制程数据和设备参数数据,帮助提高半导体工厂的生产效率,避免人工操作失误,提高产品良率。为了提高国内半导体制造产线数据收集,分析,管理和智能排产等能力,半导体制造规范化并与国际标准接轨成为必需。SEMI(国际半导体产业协会)为半导体制造设备提供了完整的SECS/GEM协议标准。为尽可能的提升产品自治率,减少产品实施成本,保证数据采集和信息传输的稳定性,公司积极推动本项目的开发。
1-开发背景:
(1)HighTech产业=设备密集型产业
(2)需要种类繁多的设备
(3)需要设备间交流及自动化必要性
(4)工厂里存在各种不同系统
(5)设备供应商根据客户的不同需要提供各种不同解决方案,导致开发费用提高
(6)对于使用设备的客户来讲因各种设备的通讯协议的不一致,导致很难实现系统整合
2-开发目标:
使用SECS通讯来实现设备自动化的优点:
(1)利用统一的标准通讯协议,确保规范性
(2)降低设备自动化系统开发费用
(3)降低各种系统整合费用
3-本项目计划开发了SECSSimulator、SECSDesigner、EAPHost等驱动工具。
(1)SECSSimulator:与SECSDriver一体的附加产品,用于定义SECS信息、信息Scenario、调研及测试设备。
-根据设备运营逻辑制作信息Scenario(用于开发EAP[EquipmentAutomationPlatform]Host)
-可动态读取已定义好的SECS信息Scenario
-内含SECS-I与SECS-II信息转换工具
-通过简单的配置设置,把Simulator转变成虚拟的标准化设备(用于测试)
-调研设备时可直连设备获取设备相关数据以做分析.
(2)SECSDesigner:与SECSDriver一体的附加产品,用于定义SECS信息、信息Scenario、生成出EAP的类库。
-可视化的页面上定义设备GEM相关信息(用于开发EAP[EquipmentAutomationPlatform]Host)
-可视化生成SECSMessageScenarioLibrary。
(2)EAPHost:利用SECSDriver二次开发High-tech产业标准化设备的EAPHost
-参照SECSDriver通讯驱动
-参照Simulator产生出来的SECS信息及Scenario
-收集设备数据、发送一系列逻辑相关指令给设备、实现设备自动化逻辑、与上游系统进行信息交互(如:MES,EES,APS…)
无锡芯享信息科技有限公司是中国领先的半导体智能制造CIM解决方案服务商,专注于提供晶圆制造、封装测试领域的智能自动化生产方案和服务,致力于成为半导体工厂的一体化生产合作伙伴。
芯享科技是国内少数拥有完全自主知识产权的半导体智能制造解决方案企业之一,拥有完善的晶圆制造和封装测试工厂生产所需的智能自动化软硬件产品,并具备成熟的现场实施能力。产品包括车间级智能工厂MES、EAP、RCM、RMS、SPC、FDC、StripMap等系统应用产品,以及各种eRack标品、研磨头智能立库、N2Purge、IoT等标品。客户包括SK海力士、华虹微电子、甬矽电子、长鑫存储、长江存储、卓胜微、华宇电子等知名半导体企业。
EAP系统是半导体CIM系统的核心部分,用于控制半导体设备进行自动化生产,与MES系统整合,校验产品信息,自动做账,同时收集产品生产过程中的制程数据和设备参数数据,帮助提高半导体工厂的生产效率,避免人工操作失误,提高产品良率。为了提高国内半导体制造产线数据收集,分析,管理和智能排产等能力,半导体制造规范化并与国际标准接轨成为必需。SEMI(国际半导体产业协会)为半导体制造设备提供了完整的SECS/GEM协议标准。为尽可能的提升产品自治率,减少产品实施成本,保证数据采集和信息传输的稳定性,公司积极推动本项目的开发。
1-开发背景:
(1)HighTech产业=设备密集型产业
(2)需要种类繁多的设备
(3)需要设备间交流及自动化必要性
(4)工厂里存在各种不同系统
(5)设备供应商根据客户的不同需要提供各种不同解决方案,导致开发费用提高
(6)对于使用设备的客户来讲因各种设备的通讯协议的不一致,导致很难实现系统整合
2-开发目标:
使用SECS通讯来实现设备自动化的优点:
(1)利用统一的标准通讯协议,确保规范性
(2)降低设备自动化系统开发费用
(3)降低各种系统整合费用
3-本项目计划开发了SECSSimulator、SECSDesigner、EAPHost等驱动工具。
(1)SECSSimulator:与SECSDriver一体的附加产品,用于定义SECS信息、信息Scenario、调研及测试设备。
-根据设备运营逻辑制作信息Scenario(用于开发EAP[EquipmentAutomationPlatform]Host)
-可动态读取已定义好的SECS信息Scenario
-内含SECS-I与SECS-II信息转换工具
-通过简单的配置设置,把Simulator转变成虚拟的标准化设备(用于测试)
-调研设备时可直连设备获取设备相关数据以做分析.
(2)SECSDesigner:与SECSDriver一体的附加产品,用于定义SECS信息、信息Scenario、生成出EAP的类库。
-可视化的页面上定义设备GEM相关信息(用于开发EAP[EquipmentAutomationPlatform]Host)
-可视化生成SECSMessageScenarioLibrary。
(2)EAPHost:利用SECSDriver二次开发High-tech产业标准化设备的EAPHost
-参照SECSDriver通讯驱动
-参照Simulator产生出来的SECS信息及Scenario
-收集设备数据、发送一系列逻辑相关指令给设备、实现设备自动化逻辑、与上游系统进行信息交互(如:MES,EES,APS…)
商品类型 | 技术成果 | 项目阶段 | 批量生产 | 成果权属 | 独占 |
技术领域 | | 交易方式 | 其他 | 权属人 | |